EBARA  EV-SA系列真空干泵

EBARA  EV-SA系列真空干泵

是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計，最大排氣速度達到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實驗室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

技術(shù)特點：

l                      小型、輕量、占地面積小

l                      風冷

l                      節(jié)能

l                      低噪音

l                      雙螺桿結(jié)構(gòu)

l                      無需維護

l                      認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL

典型應(yīng)用：

l                      科研實驗室

l                      PVD真空鍍膜

l                      質(zhì)譜儀

l                      等離子清洗

l                      半導(dǎo)體、光伏制程

技術(shù)參數(shù)：

尺寸圖：