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Leybold萊寶電容薄膜真空計

產(chǎn)品簡介

Leybold萊寶電容薄膜真空計(CTR100)適用于腐蝕性工藝氣體。它能達到優(yōu)秀水平的精度(0.2%),通過陶瓷電容式傳感器進行真空度測量。

產(chǎn)品型號:CTR100
更新時間:2025-02-09
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:134
詳細介紹在線留言
品牌Leybold/德國萊寶真空接口DN 16 ISO KF
量程1333至1.33×10-5mbar測量原理基于薄膜與固定電極之間的電容變化進行壓力測量
價格區(qū)間1萬-2萬產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,制藥

Leybold萊寶電容薄膜真空計(CTR100


工作原理


l電容測量原理:該真空計基于薄膜與固定電極之間的電容變化進行壓力測量。當壓力改變時,薄金屬膜會相對于電極位置發(fā)生變化,從而導致電容改變,且電容變化與壓力變化成正比。

l氣體類型無關(guān)性:由于薄膜位置的變化只與壓力有關(guān),與氣體類型無關(guān),因此無論測量何種氣體,變送器都能提供相同的輸出信號,無需進行氣體校正。


性能特點


l高精度與高重復(fù)性:具有出色的精度,在不同測量范圍有不同的精度表現(xiàn),如范圍≥1 托時,精確度為讀數(shù)的 0.20%;0.1 托范圍時,精確度為讀數(shù)的 0.50%。同時,測量重復(fù)性好,能為真空測量提供可靠的數(shù)據(jù)。

l良好的溫度補償:無論環(huán)境條件如何變化,都能實現(xiàn)非常好的溫度補償,確保測量結(jié)果不受溫度波動的影響。

l高耐腐蝕性:采用純焊接 Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金材料,傳感器高度耐腐蝕性,能抵御常見工藝化學品、氧化、滲碳、點蝕、縫隙腐蝕、腐蝕開裂和高溫等的侵害,適用于各種腐蝕性環(huán)境。

l快速準確響應(yīng):對壓力變化響應(yīng)迅速,在全量程范圍≥1 托時,從全量程的 0% 至 90%,響應(yīng)時間僅為 40 毫秒;對于 0.1 托,從全量程的 0% 至 90%,響應(yīng)時間為 80 毫秒,能夠及時準確地反映真空系統(tǒng)中的壓力變化。

l高過壓承受能力:具有較高的過壓額定值,能夠承受壓力突變而不會遭受物理損壞或校準偏移,提高了設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。

l多種通信接口:配備 RS232 數(shù)字通信接口,可用于設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量;同時還具有 0-10 伏直流模擬輸出信號,可連接至外部模擬設(shè)備進行壓力讀數(shù)或壓力控制。


Leybold萊寶電容薄膜真空計(CTR100

技術(shù)參數(shù)

型號

CTR100

測量原理

電容膜片陶瓷膜片傳感器

測量范圍/顯示范圍

1000 × 10-1 Torr

100 × 10-2 Torr

20 × 10-3 Torr

10 × 10-3 Torr

1 × 10-4 Torr

0.1 × 10-5 Torr

精度

讀數(shù)的0.2%±溫度效應(yīng)

0.5%的閱讀±溫度效應(yīng)(0.1Torr

狀態(tài)指示器

LED

超壓限制

3.1bar

防護等級

IP40

設(shè)定值

2

最大電纜長度

30m(type C)

電氣連接

Sub-D, 15 pin

接口

0-10 V, RS 232

控制器類型

GRAPHIX系列

功耗

< 1W

電壓

+14~+30 Vdc






















應(yīng)用領(lǐng)域


l半導體行業(yè):用于半導體制造過程中的薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝的真空測量和控制,確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。

l化學工業(yè):適用于化學氣相沉積(CVD)、真空蒸餾、真空干燥等工藝,以及腐蝕性氣體環(huán)境下的真空測量與控制。

l材料處理:如真空爐、陶瓷燒結(jié)、物理氣相沉積(PVD)等過程中的真空度監(jiān)測和控制,有助于提高材料的質(zhì)量和性能。

l分析儀器:可與電子顯微鏡、熱分析儀、質(zhì)譜儀等分析儀器配合使用,為儀器提供準確的真空環(huán)境測量。

l其他領(lǐng)域:還可應(yīng)用于 LED 和太陽能電池制造、真空鍍膜、真空包裝等領(lǐng)域的真空測量和控制。



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