PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

V73雙層傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器實現(xiàn)閘門L形運動的技術(shù)。在L形運動中，閘門垂直移動到關(guān)閉位置，與閥體沒有任何接觸，在最后的運動中，它被水平推到閥座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。

為了盡量減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了插入式O型圈密封，硫化密封是一種選擇。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

在電源故障的情況下，V73可以機械鎖定在關(guān)閉位置。

V73系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。憑借堅固的設(shè)計以及減少和易于維護，V73系列在各個方面都令人信服。

V73雙層傳輸閥始終根據(jù)客戶規(guī)格量身定制。然而，預(yù)定義了四種基本設(shè)計類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。

閥體材料選項包括鋁、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應(yīng)要求提供。

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振動。獲得認(rèn)證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器

l機械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

應(yīng)用：

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

技術(shù)參數(shù)